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沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司成立于2002年，是由中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)立的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，公司主營(yíng)產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、清洗機(jī)）。2019年，芯源微在上海證券交易所科創(chuàng)板上市，成為半導(dǎo)體光刻設(shè)備企業(yè)第一股、遼寧省科創(chuàng)板第一股，綜合實(shí)力位居中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)五強(qiáng)。